Priloge, ki določajo ali ilustrirajo topografijo, morajo nazorno in z zadostno ločljivostjo predstaviti posamezne plasti topografije kakor tudi njihovo zaporedje. Vsi načrti, ki tvorijo posamezno celoto morajo biti izdelani v enakem merilu.
Vložijo se lahko tudi priloge kot so nosilci podatkov (magnetni, optični…), izpisi podatkov o topografiji, vzorci polprevodniškega vezja, izdelanega po topografiji, ali dodatni pojasnjevalni opis topografije, za katero se zahteva varstvo.